Description
過程 | 材料/化學 | 特點和能力 | |
臨時粘合膠塗層
(離型/粘合層塗層) |
釋放層 | AAE68R2 | 卓越的耐化學性和耐熱性
Td 1% >400oC |
膠水 | AAE68U3 | 卓越的耐化學性和耐熱性
Td 1% >330oC,大於參考。~290oC 粘合 TTV ≤5um at 70um 膠水厚度 |
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介電層塗層 | 光敏PI | PCL16P1 | 卓越的耐化學性和耐熱性
Td 1% >400oC 低溫固化 最小分辨率 = 3um 開發商:CPN |
PR 塗層 | DNQ 光刻膠 | TD121 | 具有競爭力的成本與參考。
顯影劑:D500/TMAH 2.38% |
汽車光刻膠 | TC061/TC201 | 最小分辨率 = 1/1um
顯影劑:D500/TMAH 2.38% |
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公關條 | 光刻膠剝離劑 | BST5100
BST7116 |
非 DMSO/NMP/TMAH
高 PR 剝離能力 高晶圓裝載量和成本競爭力 |
種子層蝕刻 | 銅蝕刻劑 | CU101 | 定制的蝕刻速率
高晶圓負載 |
鈦蝕刻劑 | TISE102 | ||
激光加工 | 激光防護解決方案 | LPS101 | 水溶性 |
載體剝離(清潔) | 脫模劑/脫膠劑 | AAE101 | 輕鬆去除,<5分鐘即可去除膠水 |